受講概要
プログラム
１．なぜ剥離が発生するのか
Introduction 薄膜の剥離ﾄﾗﾌﾞﾙの解決に苦労する理由
1.1 膜剥離を理解・対策するための３つのポイントとは？
様々な実際の剥離形態をみて、その観察を通して何がわかるか？
密着性の技術課題において、どこの何を、どうやって、どこまで分析評価すればよいのか？
剥離原因を簡単に絞り込み、問題解決を効率的/効果的に進めるために役立つ手法
1.2 異種材料間の実際の界面をじっくり見てみよう：
剥離ﾄﾗﾌﾞﾙを避けて、密着性を向上させるためには界面のどこの何をみればよいか？
1.3 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か？
1.4 密着と粘着・接着との違い
1.5 薄膜が剥離するとは？：
負荷のかかり方によって、膜の剥離・破壊原因と剥離･破壊の形態が変わることに注目しよう
（引張/圧縮力の負荷、ﾋｰﾄｻｲｸﾙ、高温保持による剥離･破壊形態の違いの理解）
1.6 なぜ膜応力が剥離へ大きな影響を与えるのか？
1.7 薄膜の剥離・破壊を理解し、剥離ﾄﾗﾌﾞﾙに対処する直感的ｲﾒｰｼﾞ：
よくある薄膜の剥離に関する誤解とモノが壊れる本質
２．密着性をどのように評価するか
Introduction 密着力を測定したものの、改善に至らないｹｰｽの具体例
2.1 密着性を評価したいがどの方法、条件を選べばいいのか：
測定条件（膜厚・基材・温湿度）の影響と測定値の持つ意味
2.2 代表的な密着性の測り方の特長と注意点：テープテスト・3点曲げテスト
2.3 役立つスクラッチ試験による密着力測定のポイントと材料/プロセス設計への活かし方
どのような薄膜やどのレベル密着力の測定に適用できるのか
品質評価/管理などの観点から、得られた密着力の定量性や信頼性に関する注意点
スクラッチ試験における剥離・破壊形態の読み解き方と材料やプロセス設計に適用する手法
３．密着性をどうやって改善するか
Introduction よくある剥離ﾄﾗﾌﾞﾙ時の対応における失敗例
3.1 破壊力学に基づいた、剥離を起こさせない条件を密着性向上の対策に繋げる効果的な考え方
3.2 異種材料界面および表面／界面の改質手法
3.3 ケーススタディ：剥離要因を絞込み、密着性を改善する観察/分析/対策の手順の具体例とそれを進める際の注意点
４．まとめ
受講形式
会場・ＷＥＢ
オンラインでご参加の方は、事前にこちらでZoomの接続環境をご確認ください。
スムーズな受講のため、カメラ・マイク・スピーカーの動作をご確認ください。
受講対象
薄膜材料/デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる方々
初学者～中堅技術者
予備知識
特に必要ありません。
習得知識
１）薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
２）薄膜の応力や、薄膜／基板界面などの微視的構造の基礎知識
３）薄膜の剥離部を観察する際の注意点
４）薄膜の剥離ﾄﾗﾌﾞﾙに直面した時の具体的な対処手順
５）薄膜の様々な剥離ﾓｰﾄﾞに応じた、密着性を向上させる材料設計の考え方 など
講師の言葉
本セミナーでは、薄膜の密着性の問題にフォーカスして、具体的な剥離・破壊トラブルの形態の観察や薄膜の分析評価を通じて、この技術課題に実践的に対処する際に役立つ手法を解説します。この問題に対処するために知っておいたほうがよい基本的な内容を、具体的な問題点とその解決のキーポイントの例示→その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→具体例などを使ってより詳しい解説、という順で平易に解説します。
特に、「なぜ剥離が発生するのか」、「密着力が弱いのはなにが原因なのか」、については、界面や表面の形態、応力の影響、剥離・破壊の力学、などから多面的に解説し、密着性改善の考え方、密着性の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜等についてもいくつかの実例を示しながら解説します。
さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。